[fsn_row][fsn_column width= »12″][fsn_text]

Les équipements de la plateforme Nano-Rennes sont rassemblés dans des salles blanches et dans des salles grises.

 

►Salles blanches

La surface totale des salles blanches avoisine les 350 m². Elles sont de classe 1000 (ISO6) ou de classe 100 (ISO5) pour les zones sensibles. Elles sont au nombre de 3 :

  • Une salle blanche (130 m²) dédiée aux technologies III-V de nanophotonique (hébergée sur le site de FOTON-OHM)
  • Une salle blanche (120 m²) dédiée aux technologies microélectroniques Si (hébergée sur le site du DMM IETR)
  • Une plateforme (80 m²) dédiée aux technologies organiques (hébergée sur le site du DMM  IETR)

 

Schéma de la salle blanche du site Foton-Ohm
Plan de la salle blanche III-V

 

Schéma de la salle blanche au site de l'IETR
Plan de la salle blanche IETR

 

►Salles grises

La surface totale des salles grises dépasse les 500m². Elles sont dédiées à :

  • La croissance de matériaux (1 GS-MBE III-V, 1 SS-MBE III-V couplée à un bâti UHV-LPCVD Si), pour les dépôt de couche mince à l’IETR 4 LPCVD Si, 4 PECVD µSi et 2 Sputt RF
  • Caractérisation structurale (2 AFMs, 1 DDX)
  • Caractérisations électrique (Hall, station de mesures sous pointes)
  • Caractérisation optique (banc de luminescence, banc d’absorption, banc d’électroluminescence, banc pompe-sonde en régime femto-seconde)
Schéma de la salle grise sur le site de l'IETR
Plan de la salle grise IETR pour dépôt LPCVD PECVD et Sputt

[/fsn_text][/fsn_column][/fsn_row]