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Les domaines de compétences de la plateforme Nano-Rennes concernent principalement les technologies de micro et nanofabrication à vocation applicative dans des domaines d’activités variés tels que la microélectronique, l’optoélectronique, la chimie et la bio-physique.
La particularité de la plateforme est de regrouper sur un même site un fort savoir dans la croissance et la technologie associée aux filières Silicium et III-V (principalement InP et GaP).

Les domaines d’excellence sont :

  • la microtechnologie pour la réalisation de capteurs (MEMS, bio-chimiques)
  • la croissance de nanostructures quantiques (puits, fils et boîtes quantiques)
  • la croissance et le processing de composés silicium basse température (applications TFT, MEMs)
  • la microtechnologie photonique (lasers, micro-cavités, VCSELs, cellules solaires)
  • l’intégration hétérogène et/ou homogène des filières optoélectroniques et microélectroniques (hétéroépitaxie de composés III-V sur Si, report par collage (bonding) sur Si)

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TFT (Transistor en couches minces) vu à l'échelle microscopique
TFT (Transistor en couches minces)

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MEMS (Système microélectromécanique) vu à l'échelle microscopique
MEMS (Système microélectromécanique)

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VCSEL InP (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface à phopshure d'indium) vue à l'échelle microscopique
VCSEL InP (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface à phopshure d’indium)

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