►Domaine de
compétencesLes domaines de compétence de la
plateforme Nano-Rennes concerne principalement les technologies de
micro et nanofabrication à vocation applicative dans des domaines
d'activités variés tels que la microélectronique, l'optoélectronique,
la chimie et la
bio-physique.
La particularité de la plateforme est de
regrouper sur un même site, un fort savoir dans la croissance et la
technologie associée aux filières Silicium et III-V (principalement
InP).
Les domaines d’excellence sont la microtechnologie
pour la
réalisation de capteurs (MEMS, bio-chimiques), la croissance de
nanostructures
quantiques (puits, fils et boîtes quantiques), la croissance de
composés
silicium basse température (applications TFT, MEMs), la
microtechnologie
photonique (lasers, micro-cavités, VCSELs), et l’intégration hétérogène
et/ou
homogène des filières optoélectroniques et microélectroniques
(hétéroépitaxie
de composés III-V sur Si) pour le développement de nouvelles
fonctionnalités
sur Si (lasers, MOS à forte mobilité (III-V), cellules photovoltaïques
à grande
efficacité).
