Permet la caractérisation d’indice et d’épaisseur. La plage spectrale s’étend de 190 nm à 2.1 µm, les échantillons peuvent aller du cm2 à 6″.
Le mapping a une résolution de 100 à 500 µm.
Permet la caractérisation d’indice et d’épaisseur. La plage spectrale s’étend de 190 nm à 2.1 µm, les échantillons peuvent aller du cm2 à 6″.
Le mapping a une résolution de 100 à 500 µm.