12 juillet 201812 juillet 2018 admin Permet des dépôts de nombreux types. Métaux : Au, Ti, Cr, In, AuZn, Ni, W, Cu, Pt … Diélectriques : Al2O3, , Si3N4, SiO2 (possibilité de dopage) Semiconducteurs : poly-Si (possibilité de dopage), Ge