►Savoir faire
La plateforme Nano-Rennes dispose d’un ensemble d’outils en salles blanches permettant le contrôle et la caractérisation en cours des procédés. Ces outils se classent suivant deux catégories :
- Les outils de contrôle
- Les outils de métrologie
►Description des équipements de caractérisation en salles blanches
Les outils de contrôle
4 microscopes Olympus (IETR-GM, FOTON-INSA)
- Grandissement de ×50 à ×200
- Filtre UV
- Caméra
Microscopie électronique à balayage FEG JEOL 7600 (IETR-GM)
- Résolution 5 nm
Les outils de métrologie
Profilomètres à stylet Tencor et Taylor-Hobson (IETR-GM, FOTON-INSA)
- Précision : 0,1 %, pointe de R=2.5 µm
- Longueur max. de balayage : 10 cm
- Vitesse de balayage : de 2 à 200 µm/s
- Dimensions des échantillons : 4 pouces
- Hauteur des échantillons : jusqu’à 17,5 mm
- Force de contact : réglable de 1 à 100 mg
- Hauteur de marche de quelques nm à 3 mm
- Mesures de stress
Mesures 4 pointes Jipelec (IETR-GM)
- Caractérisation de résistivité
- Contrôle de dopage (filière Si)
3 stations de mesure sous pointes (ITER-GM, FOTON-INSA)
Tektronik 370A: mesures I(V) (AC, DC), faible et forte tension (2kV)
Agilent 1500 : mesure I(V), C(V), impulsionnel, tension max 40V
- Traceur de caractéristiques couplé à un système de mesure sous pointe
- Déplacement micrométrique
- Visualisation par microscope ou binoculaire
Remarques :
- Une station de mesure réservée aux formations
- Caractéristiques de composant, mesure de résistance carrée (méthode TLM), mesure de résistivité
2 stations de mesure sous pointes en boîte à gants (IETR-GM)
- Traceur de caractéristiques couplé à un système de mesure sous pointe
- Déplacement micrométrique
- Visualisations par microscope ou binoculaire
Ellispomètre spectroscopique Horiba (IETR-GM)
- Domaine spectral : 200-2100 nm
- Goniomètre 40-90°
- µ-spot (50 µm à 1 mm)
►Exemples de réalisations
Clichés au microscope électronique à balayage (MEB)