PLATEFORME DE TECHNOLOGIE DE PROXIMITE NANORENNES

INFRASTRUCTURES


Les équipements de la plateforme NanoRennes son regroupés au sein de salles blanches et de salles grises.

    ►Salles blanches

    ►Salles grises

    ►Salles blanches

Plus de 250 m² de salles blanches, de classe 10 000 (100 pour les zones sensibles de lithographie) :

    ► une salle blanche (130 m²) dédiée aux technologies III-V de nanophotonique (hébergé sur le site de FOTON-OHM) (plan de la SB Foton)

    ► une salle blanche (120 m²) dédiée aux technologies microélectroniques Si (hébergé sur le site du DMM IETR) (plan de la SB DMM IETR)

    ► une plateforme (80 m²) dédiée aux technologies organiques (hébergé sur le site du DMM  IETR) 

         

SB III-V
Plan de la salle blanche III-V

salle blanche IETR
plan de la salle blanche IETR

         ►Salles grises

Plus de 500 m² de salles grises dédiées à :

    ► la croissance de matériaux (1 GS-MBE III-V, 1 SS-MBE III-V couplée à un bati UHV-LPCVD Si), pour les dépôt de couche mince à l'IETR 4        LPCVD Si, 4 PECVD µSi et 2 Sputt RF, ( plan de la salle grise IETR).

salle grise IETR

                            plan de la salle grise IETR pour dépôt LPCVD PECVD et Sputt

    ► salles de caractérisations structurales (2 AFMs, 1 DDX)

    ► salles de caractérisations électriques (Hall, station de mesures sous pointes)

   ► salles de caractérisations optiques (banc de luminescence, banc d'absorption, banc d'électroluminescence, banc pompe-sonde en régime femto-seconde)