PLATEFORME DE TECHNOLOGIE DE PROXIMITE NANO-RENNES
EQUIPEMENT : CARACTERISATIONS STRUCTURALES

    ►Savoir Faire
    ►Description des équipements de caractérisations structurales
    ►Exemples de caractérisations

    ►Savoir Faire
La plateforme Nano-Rennes est dotée d'un ensemble d'équipements (en salles grises) permettant de réaliser des caractérisations structurales.

    ►Description des équipements de caractérisations structurales
schéma DDX Banc de double diffraction X (FOTON-INSA)
    ► mesure de paramètre de maille (0.1 %)
    ► mesure d'épaisseur (0.1 nm)
AFM VEECO Di Innova
2 AFMs VEECO DI Innova (FOTON-INSA et IETR-GM)
    ► modes : contact, tapping, EFM, nano-oxydation (Si seulement)
    ► échantillons <1/4 2 pouces
    ► scanner 5 et 100 µm


    ►Exemples de réalisations
DDX
Marches atomic InP/GaP (tapping)
Nanostructuration en nid d'abeille d'une surface InP

Caractérisation DDX d'un super-réseauImage AFM (Tapping mode) de marches atomiques InP/GaPImage AFM (Tapping phase) d'une surface d'InP nanostructurée