PLATEFORME DE TECHNOLOGIE DE PROXIMITE NANO-RENNES
EQUIPEMENT : CARACTERISATION SALLE BLANCHE
     
    ►Savoir Faire
    ►Description des équipements de caractérisations en salle blanche
    ►Exemples de réalisations

    ►Savoir Faire
La plateforme Nano-Rennes dispose d'un ensemble d'outils en salle blanches, permettant le contrôle et la caractérisation en cours de procédés. Ces outils se classent suivent deux catégories :
        - les outils de contrôle
        - les outils de métrologie

­    ►Description des équipements de gravure
Les outils de contrôle
4 microscopes Olympus (IETR-GM, FOTON-INSA)
    ► Grandissement de ×50 à ×200
    ► filtre UV
    ► caméra
MEB JEOLMicroscopie électronique à balayage FEG JEOL 7600 (IETR-GM)
    ► résolution 5nm


Les outils de métrologie
Profilomètre Temcor 2 profilomètres à stylet Temcor et Taylor-Hobson (IETR-GM, FOTON-INSA)
    ► Précision : 0,1 %, pointe de R=2.5 µm
    ► Longueur max. de balayage : 10 mm
    ► Vitesse de balayage : de 2 à 200 µm/s
    ► Dimensions des échantillons : 4 pouces
    ► Hauteur des échantillons : jusqu'à 17,5 mm
    ► Force de contact : réglable de 1 à 100 mg
    ► hauteur de marche de qq nm à 300 µm selon 2 gammes
Mesures 4 pointes Jipelec (IETR-GM)
    ► caractérisation de résistivité
    ► contrôle de dopage (filière Si)
Prober Tektronik                         Prober Agilent 3 stations de mesure sous pointes (ITER-GM, FOTON-INSA)
Tektronik 370A: mesures I(V) (AC, DC), faible et forte tension (2kV)
Agilent  1500 : mesure I(V), C(V), impulsionnel,  tension max 40V     

    ► Traceur de caractéristiques couplé  à un système de mesure sous pointe
    ► déplacement micrométrique
    ► visulations par microscope ou binoculaire

Remarque : - une station de mesure réservée aux formations
                  - caractéristiques de composant, mesure de résistance carrée (méthode TLM), mesure de résistivité
Ellispometre Horiba 2 Stations de mesure sous pointes en boite à gants  (IETR-GM)   
    ►  Traceur de caractéristiques couplé  à un système de mesure sous pointe
    ► déplacement micrométrique
    ► visulations par microscope ou binoculaire

Ellispometre Horiba Ellispomètre spectroscopique Horiba (IETR-GM)   
    ► domaine spectral : 200-2100 nm
    ► goniomètre 40-90°
    ► µ-spot (50 µm à 1 mm)